所属系列：ZJYQ-RXCSDR-LINSEIS
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频域热反射导热仪 TF-LFA，是一种在频域内对薄膜热性能进行非接触表征的技术，可测量薄膜的导热系数、体积热容、热扩散系数、传热效率和边界导热系数。
薄膜是指厚度从纳米到微米范围的表面材料。由于厚度和温度的影响，它们的热物理性质与块状材料差别很大。薄膜通常用于半导体、热电材料、相变存储器、发光二管、燃料电池和光存储介质等行业中，这些行业应用会在基底上沉积一层薄膜，以赋予设备特定的功能。
频域热反射导热仪 TF-LFA，是林赛斯与德国亚琛工业大学合作研发的，是在时域热反射法的基础上发展起来的新探测手段，FDTR（频域热反射）是一种在频域内对薄膜热性能进行非接触表征的技术。使用了波长为 532 nm 的连续激光（探测激光），同时使用不同波长（405 nm）的调制泵浦激光对样品进行加热。利用热扩散传输模型对频域响应进行建模，可以确定薄膜的导热系数、体积热容、热扩散系数、传热效率和边界导热系数。
LINSEIS林赛斯热反射法薄膜导热仪TF - LFA L54规格参数：
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类型 |
TF - LFA L54 |
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样品尺寸： |
2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之间的任意形状 |
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薄膜样品： |
10 nm - 20 µm * （取决于样品） |
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温度范围： |
RT， RT - 200 ℃ / 500 °C， 4'' 晶圆样品支架（仅限于室温） |
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气氛： |
惰性、氧化或还原，真空度可达 10E-4 mbar |
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热扩散系数测量范围： |
0.01 - 1200 mm2/s （取决于样品） |
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泵浦激光： |
泵浦激光器（405 nm，300 mW，调制频率高达 200 MHz） |
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探测激光： |
CW Laser（532 nm，25 mW） |
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检测器： |
Si 基光电探测器，有效直径：0.2 mm，带宽：DC - 400 MHz |
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软件： |
包含使用多层分析计算热物理性质的软件包 |
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* 实际厚度范围取决于样品 |
